PIN光电探测器光学补偿

摘要

半导体探测器有不同的材料和不同的结构,可以探测不同的粒子及辐射.硅基的PIN光电二极管的光谱特性是380-1100纳米.但是,靠近紫外的波段,硅光电二极管的灵敏度就比较差了.为了提高硅器件紫波段的量子效率,可以在探测器的表面加增透膜补偿紫波段的效率.使用增透膜后使硅探测器在400纳米波段量子效率达到70﹪,提高了紫波段的灵敏度.