IC线网图像的线目标提取

摘要

在对集成电路(IC)线网图像和处理过程中,线目标的提取是一个重要的过程,它是许多后续处理的基础.本文提出了一种基于高斯退化线结构模型的线目标提取算法.通过对IC线网图像的特点的研究,本文首先对线目标建立一个合适的结构模型,即两侧不对称方形波高斯退化线结构模型.然后根据该模型,用Canny边缘检测算子检测出图像中的所有可能的边缘点,从这些边缘点中确定出真实的边缘点,从而提取出线目标.最后,对由于集成电路工艺或者成像过程不完善所造成的断线进行后处理,使得同一根线连在一起,而邻近的不同的线保持分离.