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Ti、Cu离子注入Al<,2>O<,3>表面特性分析

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本文主要介绍了采用掠射X射线衍射分析了分别注Ti和注Cu的α-Al<,2>O<,3>样品表面物相变化,并用四探针仪和扫描电子显微镜分析了样品表面电阻和形貌注入剂量的变化.

著录项

来源
《2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议》|2004年|111-115|共5页
会议地点乌鲁木齐
作者
李德兴; 康建昌; 王杰; 张济中; 李文治;
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作者单位

中国电工技术学会;

中国电子学会;

中国电机工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空镀与气相镀法;
关键词
掠射X射线衍射; 离子注入; 表面相变; 氧化铝;

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