阴极气膜微弧放电沉积ZrO<,2>-Y<,2>O<,3>陶瓷涂层

摘要

本文采用阴极气膜微弧放电沉积制备ZrO<,2>-Y<,2>O<,3>陶瓷涂层,利用水溶液中阴极气膜放电产生的等离子体的能量,使在阴极表面形成的沉积物直接烧结为陶瓷涂层.研究了沉积涂层的影响因素和涂层形貌及结构.SEM、EDS和XRD分析结果表明,获得的ZrO<,2>-Y<,2>O<,3>陶瓷涂层表面光滑、与基体结合致密、成分和相结合均匀,是一种由Y<,2>O<,3>部分稳定的ZrO<,2>陶瓷涂层.通过测试阴极气膜放电过程中电流随时间的变化以及电位在两电极间分布,分析了阴极气膜放电沉积陶瓷涂层的机理.