首页> 中文会议>第十二届全国相图学术会议 >ZnO薄膜的Sol-gel制备及退火温度对结构的影响

ZnO薄膜的Sol-gel制备及退火温度对结构的影响

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文采用sol-gel旋涂法在抛光硅<111>晶面生长了高茺C轴取向的ZnO薄膜.DSC以及XRD数据显示此溶胶系统的最佳退火温度为450℃左右,更高的退火温度将对薄膜的择优取向产生不利的影响.SEM及AFM显示薄膜表面致密、均匀、光滑,组成薄膜的颗粒尺寸在50~100nm,并显示出良好的C轴择优取向.

著录项

来源
《第十二届全国相图学术会议》|2004年|371-374|共4页
会议地点深圳
作者
谷坤明; 汤皎宁; 李均钦; 杨钦鹏; 罗桂清; 许景幸; 李翠华;
展开▼
作者单位

中国物理学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.21;O723.4;
关键词
ZnO薄膜; 溶胶-凝胶法; 热处理; 退火温度; 宽带化合物半导体;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 退火温度对sol-gel制备的ZnO薄膜的结构影响 [J] . 谷坤明 ,汤皎宁 ,李均钦 . 功能材料与器件学报 . 2005,第3期
2. 退火温度对Sol-gel法制备的BiFeO3薄膜结构及电性能的影响 [J] . 王秀章 ,晏伯武 ,刘红日 . 材料导报 . 2009,第004期
3. 退火温度和涂膜层数对溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜微结构及光学特性的影响 [J] . 袁欢 ,徐明 ,黄勤珍 . 人工晶体学报 . 2013,第3期
4. 退火温度对用PⅢ方法制备共掺杂p型ZnO薄膜结构和性能的影响 [J] . 杜记龙 ,江美福 ,张树宇 . 苏州大学学报（自然科学版） . 2011,第001期
5. 退火温度对溶胶-凝胶法制备Na掺杂ZnO薄膜的结构和光学特性的影响 [J] . 高书霞 ,王德义 . 发光学报 . 2009,第001期
6. 退火温度对溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜性质的影响 [C] . DENG Xin-ke ,邓新科 ,JIN Ying-xia . 2013海峡两岸功能材料科技与产业峰会 . 2013
7. Sol-gel法制备Ⅲ-V族元素共掺ZnO薄膜 [A] . 李真 . 2020

ZnO薄膜的Sol-gel制备及退火温度对结构的影响

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅