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提拉法中的固液界面形状数值模拟

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本文通过ANSYS软件,利用有限元数值模拟方法,在轴向温度梯度为25℃/cm和提拉速率为1.2mm/h的条件下,对提拉法生长PbMoO<,4>晶体过程中,晶体旋转速率改变对固液界面形状的影响作了研究.模拟结果表明,随着晶体旋转速率的增加,固液界面经历了由凸到平再到凹的变化过程,这与实际晶体生长过程中所观察到的结果相一致,同时也印证了界面翻转理论.

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来源
《上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会》|2004年|87-97|共11页
会议地点上海
作者
陈龙; 桑文斌; 王林军; 闵家华;
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作者单位

中国有色金属学会;

中国金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
提拉法; 固液界面; 氧化物半导体; 晶体生长; 界面翻转;

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