光加热法制备YBCO/MgO高温超导薄膜

摘要

用MgO作为基片,用光加热法和直流磁控溅射成功地在基片上淀积了YBCO薄膜,Tc为86~87K.本文介绍了进行薄膜淀积前对MgO基片的高温热处理,经实验测试,发现生长在淀积前经高温热处理的MgO基片上的YBCO薄膜,其薄膜特性有了很大的提高.

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