大面积双面DyBa2Cu3O7薄膜的批量生产

摘要

采用大面积多源热共蒸技术在不同衬底上制备出了两英寸直径双面DyBa2Cu3O7薄膜.在2英寸MgO(100)衬底上直接生长的DyBa2Cu3O7薄膜两面均具有非常好的c轴取向和很高的相纯度,表面均匀致密,两面临界电流密度Jc(77K,0T)＞2×106A/cm2,最高可达3.5×106A/cm2以上,且均匀性很好,双面中心点超导转变温度约89K,双面微波表面电阻RS(77K,10GHz)小于500mW.设备一次可蒸镀12片2英寸薄膜,成品率达90％以上;在MgO衬底上制作的薄膜非常适合高性能微波无源器件应用,可满足器件产业化生产的需要.