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硅衬底传输线电特性的实验研究

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本文对带聚酰亚胺绝缘层的硅衬底电路传输线进行了加工和实验测试,实验结果与同时域有限差分法得到的仿真结果相符合.定性地验证了加适当厚度的绝缘层可使低阻硅传输线的衰减特性接近高阻硅传输线,因而可用做微波乃至毫米波传输线.

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来源
《中国电子学会微波学会第五届全国毫米波亚毫米波学术会议》|2004年|260-263|共4页
会议地点广西
作者
刘颖; 毛军发;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺及设备;
关键词
微波电路; 传输线; 聚酰亚胺; 电特性; 硅衬底;
入库时间 2022-08-17 11:02:56

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