梯度复合钛微孔金属膜的制备技术初探

摘要

研究易破碎的TiH粉随高能球磨时间的变化规律,据此考察了三种设计工艺形成梯度复合钛微孔金属膜的性能.研究结果表明,抽除工艺效果最差,球磨粉体由于粒度分布广,内堵塞严重,通量下降较大;提拉浸涂涂覆工艺相对较好,但同样具有内堵塞的问题;流体过程分级沉积工艺交果最好,不但涂层质量好,而且通量几乎没有变化.