溫度影響尺寸量測之機率分配

摘要

精密尺寸量測對於溫度的敏感度相當高,當進行高精度的量測時,環境條件必須維持在20℃附近,以得到最佳之量測結果.但是溫度的控制仍有其限制,即使在環境條件極為良好的實驗室内進行尺寸量測,仍有可能因溫控的技術或效果導致量測結果的不確定度.一般在以ISOGUM來評估溫度效應所導致的不確定度分量時,因為成本的考量,不便實際蒐集數據以A類評估法評估此不確定度,習慣上多選擇使用B類的評估方式來估算.而進行B類評估的主要步驟之一便是先假設溫度影響所呈現的機率分配,再由此機率分配推導B類的不確定度.常用的機率分配有常態分配、U型分配、矩形分配以及三角形分配等.此時該引用何種機率分配各家說法不一.本文將透過數學模式的推導,求出實驗室環境溫度變化之機率密度函數,再以模擬的數據配合統計圖表分析,經統計之適合度檢定來驗證其機率分配,證明溫度變化所引起之機率分布,以提供使用者更有信心度之數據來進行B類之不確定度評估,提升不確定度評估之品質.