射频等离子体沉积非晶碳氢薄膜及其阻隔性能

摘要

采用射频辉光放电等离子体化学气相沉积系统,，以甲烷和氩气作为工作气体在PET（聚对苯二甲酸乙二醇酯）片和玻璃片基上沉积了非晶碳氢薄膜，利用傅立叶变换红外光谱（FTIR）、表面轮廓仪、扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、X 光电子能谱（XPS）和激光喇曼光谱（LRS）对碳氢薄膜的结构进行研究，并且通过透水蒸汽相对比较实验检测了PET 上沉积碳氢膜的阻隔性能，详细讨论了沉积工艺参数对碳氢薄膜结构和阻隔性能的影响。实验结果证明，沉积的薄膜越厚，碳氢膜的含量越高，阻隔性能越好，沉积碳氢膜的PET 阻隔性比原始PET 都有明显提高，当膜厚达900nm 时，阻水蒸汽透过率可提高7 倍。