一种富勒烯/非晶碳氢复合薄膜的制备及在真空低温环境中的应用

摘要

本发明公开了一种含富勒烯纳米结构的非晶碳氢复合薄膜，是采用闭合磁场‑多靶反应磁控溅射沉积的制备技术，以石墨为溅射靶材，氩气为溅射气源，碳氢气体为反应气源，通过控制碳氢气体流量、石墨靶溅射电流，在基体表面制得在非晶碳氢薄膜中镶嵌富勒烯结构的纳米复合薄膜。该薄膜具有良好的机械力学和化学稳定性能，同时在真空低温环境中具有优异的润滑和耐磨性能，可应用于氢氧发动机、超导装置、空间装备、压缩机等低温运动部件表面的长寿命润滑薄膜。