纳米复合膜的制备、发展与应用

摘要

电子束物理气相沉积是采用电子枪发射电子，然后用电子轰击加热要沉积的靶材，使其蒸发沉积到工件上。该方法具有沉积速率高，制备的薄膜不易脱落的优点，适用于工业化大规模生产，特别是制备的纳米级多层膜具有较好的耐热性能。本文主要叙述纳米复合膜的发展趋势和制备原理,及可能的应用前景.