微振动的高精度测量

摘要

为了测量振幅小于1 μm的微振动信号，本文在传统迈克尔逊干涉仪的基础上，研制了一种大光程差情况下的实时高精度测量系统，通过使用单频窄线宽光纤激光器来减小大光程差下的相位噪声影响；再用零差解调方法来抑制环境影响导致的相位漂移；双路平衡检测的使用可使光源强度噪声降低16dB左右。 本系统理论上可以测量的最小振动幅度达10－6μm，但由于电路处理上的限制和外界环境的影响，实际可探测的最小灵敏度约为10－5μm。当被测信号在100Hz～4KHz之间时，本系统具有良好的线性响应度。