高精度电容式微振动传感器的设计与实现

摘要

提出一种用于微振动测量且可抗大冲击高过载的高精度振动传感器,其差分敏感电容由金属簧片和上下两块陶瓷极板组成,敏感质量块直接由金属簧片的外环区域构成.金属簧片的弹性悬臂采用新型的弧形设计,以提高灵敏度.敏感质量块上设计有多列交错均布的阻尼孔,以获得良好的频响特性.给出适合于该类型高精度传感器设计的参数计算模型和符合型号需求的设计参数.提出的设计方法可推广至各类电容式传感器和MEMS器件的优化设计.