积分时间和积分电容对紫外焦平面性能的影响

摘要

本文采用金属有机化学汽相沉积生长的p-i-n GaN材料制备了64元线列探测器并与读出电路实现了互连，采用PI-4000系列测试系统对焦平面器件进行了测试，分析了积分时间和积分电容对焦平面器件性能的影响。实验结果表明，焦平面的响应信号随积分时间的延长而增大；在相同积分时间下，信号与积分电容成反比关系；焦平面的读出噪声约为mV量级, 而积分电容对读出噪声没有明显的影响。焦平面探测率约为109 cmHz1/2/W量级。