微系统与纳米技术的一些进展

摘要

微系统是指集成了微电子和微机械(或光学、化学、生物等方面的微元件)的系统,它以微米尺度理论为基础,用批量化的电子技术和三维加工技术制造来完成信息获取、处理及执行等功能.本文就微系统所涉及的微传感器、微制造、超精密检测等关键技术的发展趋势进行了论述,并介绍了西安交通大学精密工程研究所有关耐高温微型压力传感器、微型三坐标测量机、微机械力学性能测试系统、生物微组织阵列芯片制备仪、基于视觉反馈的微装配系统、纳米样板/纳米测量和纳米加工等方面的最新研究进展.