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Bi4Ti3O12薄膜的慢正电子束研究

摘要

采用Sol-Gel工艺在p-Si衬底上制备Bi4Ti3O12薄膜,利用慢正电子束测量了不同退火温度处理的Bi4Ti3O12薄膜的S参数与入射正电子能量E的关系,研究退火温度对Bi4Ti3O12薄膜中缺陷的影响.

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