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基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作

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本文基于MEMS技术设计制作了硅微结构的条栅状过滤器,用于分离的研究,给出了具体的制作工艺,并用碳化硒微粒做了原理实验以检验其过滤性能.此结构过滤器及工艺方法可为同行参考,并为进一步微流体分离研究提供实验依据.

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来源
《第三届全国微全分析系统学术会议》|2005年|53-54|共2页
会议地点武汉
作者
何林; 中国科学院研究生院; 吴一辉; 张平; 宣明;
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作者单位

中国化学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体集成电路（固体电路）;制造工艺;分析自动化;
关键词
微机械加工; 硅微结构; 条栅状过滤器; 分析化学;
入库时间 2022-08-17 10:56:50

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