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对电子元器件氦质谱背压捡漏固定法的改进意见

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本文介绍了密封电子元器件按照国家军用标准进行氦质谱背压检漏,执行固定法程序时,可能出现比较大的误差问题.分析了产生误差的原因,提出了解决该问题的具体方法.

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来源
《第十三届全国质谱分析和检漏会议、第八届全国真空计量测试年会》|2005年|16-19|共4页
会议地点沈阳
作者
吴孝俭;
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作者单位

中国真空学会;

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类测试、调整及设备;电真空测试技术与设备;真空检漏与仪器;
关键词
电子元器件; 氦质谱背压检漏; 检漏固定法程序;

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