基于加弧辉光复合渗镀技术的Al2O3陶瓷表面合金化

摘要

基于加弧辉光复合渗镀技术,采用自行研制的复合靶对Al2O3陶瓷表面进行Cu、Ti复合渗镀,实现了Al2O3陶瓷表面合金化.采用光学显微镜、EDS、XRD、声发射划痕等测试手段对渗镀层进行分析.研究了复合渗镀机理、渗镀层成分和元素分布、渗镀层相结构以及渗镀层与基体的接合机理.在100N的最大载荷下,渗镀层与陶瓷基体未发生剥离和崩落现象.这一方法为各种陶瓷材料表面合金化及其与金属材料的微连接提供了新途径.