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石墨电极加弧辉光渗镀Ti抗蚀性能的研究

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利用加弧辉光离子渗钛技术在石墨板上形成均匀的渗镀钛层 ,着重讨论了渗层的抗蚀性能 ,探讨了渗层钛浓度分布 ,并用

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来源
《热加工工艺》 |2001年第6期|41-42|共2页
作者
陈飞; 田林海; 张跃飞; 潘俊德;
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作者单位

太原理工大学表面工程研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类真空镀与气相镀法;
关键词
加弧辉光; 离子渗钛; 石墨阳极; 抗蚀性能;

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