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微阵列点样器的制作方法

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本文提出了一种利用CO2激光对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)进行快速微加工,制作微阵列点样器的新方法.利用该微阵列点样器将多个样品平行同步地转移到尼龙膜基底上,形成微阵列芯片.微阵列点样器包含有48个间距为1500μm的6×8阵列式微通道,液体转移头内径为80μm.转移到基底上的样点平均半径为200μm,其样点直径相对标准偏差为2.45﹪.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|85-87|共3页
会议地点大连
作者
李佳; 陈良格; 林华水; 田昭武;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体集成电路（固体电路）;晶体机械加工;
关键词
微阵列点样器; 聚甲基丙烯酸甲酯; CO2激光; 微阵列芯片;

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