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一种可以实现快速检测的微振荡型PCR芯片

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本文介绍了一种利用MEMS技术制作的微振荡型PCR芯片.与常规PCR产品相比,具有快速、微量和低耗等优点.设计了该芯片的工艺流程并进行了投片,通过实验成功验证了该器件的可行性.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|88-90|共3页
会议地点大连
作者
罗蓉; 徐爱东; 王玮; 吕苗;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体集成电路（固体电路）;半导体器件制造工艺及设备;酶的应用;
关键词
振荡型PCR芯片; MEMS; 聚合酶链反应; 微通道; EPW腐蚀; 快速检测;

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