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基于MEMS的微流体技术研究

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随着微电子机械系统(MEMS)技术迅速发展,微流体技术逐渐成为MEMS研究的热点之一.本文回顾了近十年来微流体技术的研究进展情况,主要包括微流体装置及组件、微流体系统等;并指出了微流体技术面临的一些困难.最后对微流体技术的发展进行了展望.

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来源
《2005年全国测控、计量、仪器仪表学术年会》|2005年|311-316|共6页
会议地点宜昌
作者
王卫东; 贾建援;
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作者单位

中国电子学会;

中国仪器仪表学会;

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP271.4;
关键词
微电子机械系统; 微流体技术; 微流体装置;

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