基于超声波电动机的工作台精确定位系统

摘要

本文将超声波电动机应用于工作台定位系统的驱动部件,由两台行波型超声波电动机分别带动工作台的X、Y轴上的滚珠丝杠,实现了X-Y工作台的精确定位,定位精度可以达到微米级。