聚合物微环谐振波分复用器研制工艺研究

摘要

本文对一种新型结构的波分复用器---微型谐振环波分复用器(MRRWM)进行了研究,在以前理论设计和参数优化的基础上,对器件制作工艺进行了细致的探索,采用符合器件光学性能要求的聚合物材料PMMA,在硅基板上制作出垂直信道波导和微环波导,微环与信道波导采用垂直耦合的方式,利用铝掩膜和反应离子刻蚀技术完成了1×8信道的器件制作.聚合物MRRWM的中心波长为1.550918μm,输出波长间隔△λ=1.6nm,中心微环半径R=131.95μm,相邻微环半径差△R=500.0nm,自由光谱区FSR=1.85nm,器件实现了微环谐振输出。