垂直结的碲镉汞短波光伏探测器列阵

摘要

采用环孔工艺的方法制备了N-on-P垂直结的碲镉汞短波光伏探测器列阵,测量表明:液氮温度下器件峰值波长2.2微米,器件零偏阻抗109欧,黑体探测率4.4×1010cmHz1/2W-1.采用LBIC对4×4碲镉汞光伏二极管列阵进行了器件特性分析,显示了均匀的成结特性.设计尺寸为6微米的孔,测试结果显示N型区平均直径为17微米,P型区少子扩散长度平均为9微米。