大型精密光学平台振动隔离技术研究

摘要

精密光学设备对振动的要求比较苛刻,必须采取有效措施隔离和抑制振动.本文对大型精密光学平台在宽频带(0Hz～200Hz)随机振动环境下的支撑方式和振动隔离技术进行了分析和数值模拟,采用类stewart结构的八腿斜支撑结构和空气弹簧隔振器建立试验系统,在仿真试验中,取得了振动隔离系统固有频率小于3Hz,4Hz处开始衰减振动,振动衰减率在10Hz处大于20dB,20Hz处大于30dB的良好效果.