(100)硅基2×2光开关性能测试研究

摘要

利用硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀特性,在(100)硅片上制做出光开关结构,对制作的光开关采用精密光纤调整架进行光纤耦合对准,并对耦合好的开关进行性能测试和分析.设计并建立了开关时间的测试系统,对开关时间和开关寿命进行测量.采用其他相关仪器测量了光开关的光学特性,包括插入损耗和串话.测试结果表明,制作的光开关基本满足光网络的需要.测试分析制作光开关的性能,为以后更进一步研究光开关提供了依据,并有助于在光网络中更加合理的利用.