薄膜应力对薄膜光学特性影响的实验研究

摘要

从实验上验证了基片曲率变化引起的光学薄膜厚度变化的不均匀性是引起这种窄带干涉滤光片光谱退化的主要原因，实验结果为：IOOGHz窄带滤光片的薄膜应力为-2.97GPa;200GHz的为-1.057GPa。其基片分两次减薄。光谱变化为插损增加，通带带宽变小，通带平坦度变差。基片越薄，薄膜光谱变化越严重;越远离薄膜控厚点，光谱退化越严重。实验结果与前述理论分析结果一致。