离轴非球面反射镜的柔性支撑设计

摘要

光学元件与其支撑结构之间热特性不匹配将给镜面带来很大的面形误差，需要采用柔性支撑给予补偿。利用柔性铰链设计原理，通过计算与分析，对某离轴三镜系统中非球面反射镜柔性支撑进行了设计，并对其进行了优化，最终确定了柔性铰链的几何参数。仿真结果表明，该柔性支撑设计符合该光学系统在各种工况下的设计要求。