大口径离轴非球面反射镜高精度数字化加工技术——智能加工技术

摘要

大口径离轴非球面反射镜是高分辨率、大视场空间光学遥感器的核心元件,在空间光学遥感领域应用非常广泛.本文针对空间大口径离轴非球面的技术特点,开展了轻型大口径离轴非球面反射镜的全链路数字化加工技术研究.选取典型离轴非球面样件进行加工指标的优化分配和工艺验证,首先应用超声精密铣磨技术直接铣磨成型离轴高次非球面,成型精度达5μm RMS;然后,用智能机械手数控研抛技术进行快速研磨和快速抛光至面形精度约30nm RMS,最后采用离子束纳米修形技术对其进行精抛光,最终面形精度RMS值优于12nm.