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吴虹; 李延夫; 于振毅; 张玉杰;
中国电子学会;
中国航空学会;
中国仪器仪表学会;
新型硅压力传感器; 可靠性试验; 失效分析;
机译:无结构硅在开发新型电容式绝对压力传感器中的应用
机译:新型微机械硅高精度压力传感器
机译:基于结构“在蓝宝石上的结构”硅的压力传感器温度误差校正压力传感器温度误差的数字方法
机译:通过使用多孔硅的新型表面微加工工艺制造的用于压力传感器的单晶硅膜
机译:高速拉伸载荷下微米级硅的失效分析
机译:基于硅MEMS技术的高温环境高一致性光纤法布里 - 珀罗压力传感器
机译:由高速气动阀和新型压力传感器控制的一种新型的空气螺杆轴承
机译:用于高灵敏度压力传感器的硅/多孔硅复合膜
机译:时间失效分析方法,时间失效分析装置及时间失效分析程序
机译:亚微米IC失效分析的新型荧光和光生化装置及方法
机译:根据该方法制造的硅电容式压力传感器和静电电容与硅电容式压力传感器的制造方法,
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