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钝化层对铝膜应力影响的研究

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本文用有限元法对不同钝化层的铝膜进行了应力模拟,同时采用光偏振相移干涉原理对硅基片上不同钝化层下的铝膜应力变化进行了研究.研究表明:不同的钝化层对铝膜的应力影响不同.钝化层为SiO2的应力最小,且分布较为均匀,而钝化层为聚酰亚胺的铝膜应力最大,且分布最不均匀,应力差最大为3.63×103Pa.测量结果验证了模拟结果.

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来源
《2005第十一届全国可靠性物理学术讨论会》|2005年|32-36|共5页
会议地点温州
作者
吴月花; 付厚奎; 李志国; 吉元; 刘志明;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类互连及多层布线技术;测试和检验;
关键词
集成电路; 互连布线; 钝化层; 屈服应力;
入库时间 2022-08-17 10:49:33

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