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电子聚焦电场增强辉光等离子体离子注入研究

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本文提出了一种新型的等离子体基离子注入方法--电子聚焦电场增强辉光等离子体离子注入,介绍了该方法的基本结构,并计算了该方法电场等势面分布,采用该方法,进行了硫元素的离子注入,采用X射线光电子能谱深度剥层分析的方法测量了注入硫的深度分布,并采用TRIM程序对注入结果进行了模拟对比分析.

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来源
《第十一次全国焊接会议》|2005年|225-228|共4页
会议地点上海
作者
李刘合; 朱剑豪;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类等离子弧焊;各种金属材料和构件的焊接;
关键词
辉光等离子体; 离子注入; 电场;
入库时间 2022-08-17 10:49:30

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