喷雾热解法制备SnO2镀膜玻璃的工艺研究

摘要

采用喷雾热解法在500mm×500mm×5mm的玻璃基板上制备了SnO2:F+Sb薄膜。研究了液流量、基板至喷嘴距离、基板温度及喷枪移动速度对薄膜导电性能及薄膜表面质量的影响。结果表明，在在基板温度为430℃、液流量为1.2ml/s、气压为3.5bar、距离为35cm、喷枪移动速度为2cm/s的条件下，制得的薄膜表面光滑平整，且薄膜导电性能良好。并对制得的镀膜玻璃光学性能进行测试，测得镀膜玻璃的可见光透过率(Tvis)为78.3%，遮阳系数(SC)为0.79。