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溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡薄膜的光电子能谱研究

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摘要

采用改进的溶胶-凝胶法配制了(Bax,Sr1-x)TiO3(BST)溶胶.利用旋转涂覆工艺在SiO2/Si衬底上甩胶,在不同的热处理条件下制备出不同Ba/Sr比的BST薄膜.SEM测试结果表明BST薄膜断面平整致密,均匀,无裂纹;化学组态和结合能分析表明BST薄膜的价态为钙钛矿结构的价态.

著录项

来源
《第十一届全国电介质物理、材料与应用学术会议》|2005年|146-149|共4页
会议地点成都
作者
刘娟妮; 方瑜; 肖定全; 朱建国;
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作者单位

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电学性质;磁性材料、铁磁材料;
关键词
钛酸锶钡薄膜; 光电子能谱; 溶胶凝胶法; BST薄膜; 钙钛矿结构;
入库时间 2022-08-17 10:47:27

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