溶胶凝胶法制备钛酸锶钡薄膜的热处理工艺研究

摘要

采用溶胶-凝胶工艺，以醋酸钡，氯化锶，钛酸丁酯为原料制备了Ba0．8Sr0．2TiO3溶胶，利用提拉法在Pt／TiO2／SiO2／Si衬底上制备BST薄膜，采用XRD衍射分析仪系统研究了不同热处理条件下制备的BST薄膜的晶相结构。结果表明：热处理温度在600℃以上时，BST薄膜形成了较为完整的ABO3钙钛矿结构，且随热处理温度升高，热处理时间的延长，晶体生长沿（110）的取向性越好，结晶状况明显改善。