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类金刚石薄膜的光学性能及应用

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本文主要介绍了类金刚石碳膜的光学性能,掺杂氮、氟等元素以及离子注入、辐照、热处理等后处理工艺对类金刚石膜光学性能的影响,并介绍了类金刚石薄膜在光学领域的应用.

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来源
《2005’全国真空冶金与表面工程学术会议》|2005年|156-159|共4页
会议地点沈阳
作者
彭勃;
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作者单位

中国真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
类金刚石薄膜; 光学性能; 光学应用;

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