集成电路(IC)产业对纯氮设备的技术要求

摘要

介绍了纯氮设备在集成电路上的应用,并要求超高纯度氮气的各杂质含量控制在10-9(PPbc)级水平。还介绍了我国高纯氮设备技术水平及与国外存在差距。简介了深度精制法,可使氮气中难清除的杂质含量低于10×10-9。为满足IC产业,提出了制造纯氮设备和选用材料的特殊要求,仍需努力提高设备的稳定性和可靠性。