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微电子机械系统(MEMS)综述

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MEMS英语全称为MicroElectroMechanicalSystem,即微电子机械系统.半导体微电子系统、集成电路IC系统和超大规模集成电路系统国际上发展得很快,工艺相对来讲已很成熟,其器件的微型化也能满足各方面要求.而微机械系统同样也在飞速发展.本文主要对微电子机械系统(MEMS)进行介绍.

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来源
《2005年上海市电镀与表面精饰学术年会》|2005年|52-55|共4页
会议地点上海
作者
吴茂钧; 黄锦斐;
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作者单位

中国电子学会;

上市电镀协会;

中国表面工程技术协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体集成电路（固体电路）;腐蚀的控制与防护;
关键词
微电子机械系统; 纳米技术; 表面处理;
入库时间 2022-08-17 10:46:30

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