发展新一代亚50纳米集成电路制造技术为实现微电子强国奠定基础

摘要

本文分析了亚50纳米集成电路技术的发展趋势、存在的科学问题，介绍承担的了国家973项目“系统芯片中新器件新工艺基础研究”取得的部分研究成果，提出了只有针对亚50纳米集成电路中存在的基础科学问题进行系统深入的研究，才可能在下一代亚50纳米尺度的集成电路领域掌握系列专利技术和拥有自主的知识产权，实现后来居上。