Fe/Ti纳米多层薄膜的热稳定性研究

摘要

采用双室高真空磁控溅射装置在溅射功率和工作气压分别为60 W、0.5Pa和80 W、0.9 Pa两种工艺条件下直流磁控溅射沉积了调制比为1、设计调制周期18.0 nm的Fe/Ti纳米多层薄膜.实测调制周期分别为15.6nm和19.0nm,均由纳米多晶的α-Fe/α-Ti组成,随着溅射功率和工作气压的升高Ti亚层择优取向由α-Ti(002)转变为(100).Fe/Ti纳米多层薄膜热失稳过程包括Fe与Ti亚层间的互扩散、金属间化合物FeTi形核层的形成与长大3个阶段.Ti亚层择优取向为α-Ti(002)时,金属间化合物FeTi开始形成于623 K,而择优取向为α-Ti(100)时,开始形成温度为873 K。