大气压下等离子枪沉积类金刚石薄膜的研究

摘要

在大气压下,以甲烷为单体,氩气为工作气体,利用DBD等离子枪沉积类金刚石薄膜(DLC).考察了基片预处理、内电极形状、进气方式、以及等离子体炬喷口和基材的距离对DLC薄膜沉积的影响.通过傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析聚合膜结构并探索可能的沉积机理;表面轮廓仪测定了成膜速率;扫描电子显微镜(SEM)观察了沉积膜的表面形貌,并对薄膜进行了机械性能测量。