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ZnO-TFT研究进展

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将ZnO材料作为活性应用到薄膜晶体管(TFT)中,做成的器件具有十分优异的性能,逐渐受到更多的研究和关注.本文论述了ZnO材料的基本性质、ZnO-TFT的结构与工作原理,并分析了ZnO-TFT的性能参数,指出了ZnO-TFT的性能优点与存在问题.

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来源
《2006中国平板显示学术会议》|2006年|359-362|共4页
会议地点北京
作者
徐征; 许洪华; 陈跃宁; 黄金昭; 袁广才; 孙小斌;
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作者单位

中国电子学会;

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类材料;
关键词
薄膜晶体管; ZnO薄膜; 迁移率;

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