阴极刻蚀和覆膜的应用研究

摘要

本文阐述了刻蚀和涂覆的重要作用,通过大量的条件实验确定合适的刻蚀和覆膜工艺及检验手段,进一步比较不同厚度、不同材料膜层的阴极发射性能的比较。