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钛合金表面离子增强沉积OCr18Ni9膜层及其摩擦学行为

摘要

采用离子增强沉积(IED)技术在钛合金表面制备了OCr18Ni9膜层,对比研究了IED膜层与磁控溅射沉积膜层的沉积速率、膜基结合强度、硬度和摩擦学行为.结果表明:所获IED制备0Cr18Ni9膜层较磁控溅射沉积膜层致密性好、膜基结合强度高,同时具有较好的减摩和抗磨综合性能,能够显著地改善钛合金的摩擦学性能.

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