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大宽厚比悬空薄膜的制备与性能分析研究

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摘要

本文研究了MEMS中的悬空薄膜制备技术.用浓硼扩散自终止腐蚀法和PECVD淀积法分别进行了试验,得到了宽厚比为3000∶1的悬空浓硼Si薄膜和宽厚比为9 000∶1的SiNx薄膜.对它们的力学特性进行了分析,用纳米硬度计测量了薄膜的杨氏模量.比较了两种方法的优劣.

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来源
《第八届中国微米/纳米技术学术年会》|2006年|1391-1394|共4页
会议地点南京
作者
李博; 徐晨; 赵慧; 赵林林; 霍文晓; 宋义超; 沈光地;
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作者单位

中国微米/纳米技术学会;

中国仪器仪表学会;

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体器件制造工艺及设备;薄膜物理学;
关键词
大宽厚比; 悬空薄膜; 杨氏模量; 纳米硬度计;

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